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更新時(shí)間：2026-01-05
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| 參數(shù) | 詳情 |
|---|---|
| 進(jìn)氣口法蘭 | VG350 |
| 排氣速度 | N?：3400L/s（帶保護(hù)網(wǎng) 3200L/s）；H?：2600L/s |
| 大壓縮比 | N?：1×10?；H?：6×103 |
| 極限壓力 | ＜1×10??Pa（＜7.5×10??Torr） |
| 大 N?流量 | 543sccm（輔助泵 3000L/min 時(shí)） |
| 啟動(dòng) / 停止時(shí)間 | 啟動(dòng) 10-15min；停止 25-30min |
| 允許背壓 | 270Pa/2Torr |
| 推薦前級(jí)泵 | 1500L/min |
| 潤(rùn)滑油量 | 260mL |
| 安裝姿勢(shì) | 垂直（±10°） |
| 重量 | 100kg |
| 適配控制器 | TC3213（單相 200-230VAC，功率 2200VA，輸出 360Hz，重 8.2kg） |
雙版本可選：有標(biāo)準(zhǔn)型與耐腐蝕性氣體的化學(xué)型，適配不同氣體環(huán)境。
結(jié)構(gòu)堅(jiān)固：耐受意外大氣沖擊與外部機(jī)械沖擊，工業(yè)環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)。
智能互聯(lián)：支持串行通信，可遠(yuǎn)程監(jiān)控與數(shù)據(jù)采集，便于集成到自動(dòng)化系統(tǒng)。
安全合規(guī)：滿足 NRTL/SEMI - S2 標(biāo)準(zhǔn)，保障半導(dǎo)體等精密制造場(chǎng)景的安全運(yùn)行。
半導(dǎo)體制造、FPD 面板生產(chǎn)、電子槍 / 離子源排氣
表面處理與改性、電子部件制造、真空熱處理
加速器、核聚變研究等科研領(lǐng)域
管球、光學(xué)部件制造
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