TG350FCAB（日本 OSAKA 大阪真空 渦輪分子泵）

型號含義

• TG350F：350L/s 系列分子泵

• C：進氣口 CF100 法蘭

• A：風冷

• B：內置一體式控制器（TC353）

核心參數

• 氮氣抽速：330 L/s（CF100），VG 法蘭版 350 L/s

• 轉速：46,000 rpm

• 極限真空：＜1×10?? Pa

• 前級接口：KF25（適配 ESA100W）

• 冷卻方式：強制風冷

• 啟動時間：2–2.5 min；停機時間：5–6.5 min

• 重量：9 kg

• 耐壓：可承受 400 次以上大氣沖擊，抗震、任意角度安裝

關鍵特點

1. 油脂潤滑滾珠軸承，體積小、重量輕、成本低

2. 高壓縮比，高背壓可連續運行，適配大流量工藝

3. 自帶控制器，支持串口通訊，兼容 SEMI?S2、CE、NRTL

4. 風冷免水冷，維護簡單，適合半導體、鍍膜、分析儀器