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當前位置:首頁技術文章精品分享HORIBA堀場IT-270高精度紅外測溫儀

精品分享HORIBA堀場IT-270高精度紅外測溫儀

更新時間:2026-07-14點擊次數:81

一、產品定位

日本堀場設備內置型非接觸紅外測溫傳感器,主打超高一致性、可深度定制,專為半導體 SiC 晶圓、真空腔體、精密工業產線集成設計,同批次多臺設備間測量偏差極小,適合多測點同步測溫場景

二、核心標準規格(基礎款)

1. 測溫基礎

  • 標準量程:-50 ~ 200℃,分辨率 0.1℃;可定制拓展至 -50~1000℃

  • 光譜波段:標準 8~14μm;可定制 3~14μm 適配藍寶石 / 氟化鈣真空窗口

  • 發射率補償:0.100~1.200連續可調,適配金屬、塑料、半導體晶圓

2. 測量精度(發射率 = 1.0 條件)

3. 光學視場

150mm 測距下,被測光斑≤Φ8mm(90% 紅外能量);鏡頭、視場可按需定制大小光斑

4. 響應與采樣

  • 采樣周期:0.05s(20Hz)

  • 響應時間(95% 穩定值,移動平均 20 次):≤1.4s

5. 電氣與機械

  • 供電:DC5V±5%,功耗≤0.1W

  • 本體通訊:半雙工 RS-485(38400bps)

  • 尺寸:26 (W) × 72 (D) × 35 (H) mm

  • 重量:<150g,超小型易嵌入設備腔體

  • 工作環境:0~55℃,濕度 35%~85% RH(無凝露)

  • 認證:CE、FCC

三、選配件:IT-27C 信號轉換器

本體僅 RS485,如需工業標準輸出搭配 IT-27C 轉接模塊:
  • 2 通道接入,可同時接 2 臺 IT-270

  • 輸出:4~20mA 模擬電流、RS232C

  • 供電 DC24V,功耗≤2W,適配 PLC / 工控采集系統

四、核心優勢

  1. 批量一致性強

    專用黑體爐逐臺校準,多臺同型號測溫偏差極小,適合半導體多腔體、多點陣列測溫。

  2. 抗環境干擾

    自研熱電堆傳感器 + 隔熱結構,大幅抵消環境溫度波動帶來的漂移,真空 / 高低溫設備穩定輸出。

  3. 全維度深度定制

    測溫區間、紅外波段、光斑大小、通訊協議、光學窗口適配均可按需修改,匹配 SiC、硅片、鍍膜、真空工藝。

  4. 微型低功耗

    體積小巧、發熱量極低,不干擾腔體內部熱場,適配精密半導體設備狹小安裝空間。

五、典型應用場景

  1. 半導體:SiC / 硅晶圓真空腔體測溫、薄膜沉積、退火工藝監控

  2. 精密工業:鍍膜機、鋰電池涂布、塑料擠出、小型熱處理爐

  3. 特種設備:真空腔體、無塵產線、小型精密溫控設備內置測溫


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