EV-A10-2S 荏原 EBARA 干式羅茨真空泵

一、型號釋義

• EV-A10：整機系列型號，風冷多級干式真空泵

• 2S：單相供電版本（Single-phase），對應三相款 EV-A10-3S

• 適用電壓：單相 AC200~240V，電壓波動 ±10%，實驗室市電直接可用

二、核心技術參數

1. 抽速

• 最大抽速：1000 L/min

• 大氣壓抽速：800 L/min

2. 極限真空

• 關閉氣鎮：1.0 Pa

• 開啟氣鎮：2.0 Pa

3. 水汽處理：標配可開關氣鎮閥，最大水蒸氣排出量 500 g/h，適配含水工藝

4. 功率：極限真空運行功率約 1.1 kW

5. 接口

• 進氣：NW40

• 排氣：NW40

6. 散熱：一體式風冷，無需水冷，無水路、無漏水風險，無塵車間 / 實驗室均可內置安裝

三、結構優勢

1. 五級非接觸羅茨轉子干式結構，腔體與潤滑腔隔離，無油氣污染

2. 內嵌變頻控制，啟停穩定、能耗低

3. 帶腳輪 + 調平底座，移動安裝便捷

4. CE/UL 認證，半導體、鋰電、光學行業通用

四、典型應用場景

• 鋰電真空脫氣、注液前預抽

• 等離子清洗、薄膜沉積 Load-Lock 腔體

• 真空干燥、溶劑脫除、實驗室真空腔體

• 頻繁破真空、反復抽大氣工況（對比渦旋泵效率更高）