大阪真空TG350FRWB復(fù)合分子泵核心技術(shù)規(guī)格

TG350FRWB 是日本大阪真空（Osaka Vacuum）生產(chǎn)的 TG350F 系列復(fù)合分子泵 / 渦輪分子泵（Turbo Molecular Pump）的具體型號(hào)。該型號(hào)常用于半導(dǎo)體、平板顯示器（FPD）制造和科研等需要高真空環(huán)境的領(lǐng)域。

型號(hào)命名與規(guī)格參數(shù)含義

根據(jù)大阪真空的產(chǎn)品編碼規(guī)則：

• TG350F：基本產(chǎn)品系列（排氣速度約 350 L/s）

• R：進(jìn)氣口法蘭型號(hào)，為 ISO-R 標(biāo)準(zhǔn)（如 ISO 100-R 或 ISO 160-R）

• W：冷卻方式為 水冷（Water Cooling）

• B：規(guī)格分類，通常指標(biāo)準(zhǔn)型（Standard Type）

• 排氣速度 (N?)：330 L/s（ISO-R 法蘭）

• 最大壓縮比 (N?)：1 × 10?

• 極限壓力：< 1 × 10?? Pa（< 7.5 × 10?? Torr）

• 啟動(dòng)時(shí)間：2 至 2.5 分鐘

• 停止時(shí)間：5 至 6.5 分鐘

• 泵體重量：約 6 kg

• 推薦配用電源（控制器）：TC353A

1. 安裝姿態(tài)任意：支持多角度安裝，方便設(shè)備內(nèi)部的緊湊集成。

2. 耐大真空沖擊：泵體結(jié)構(gòu)對(duì)瞬間突入的大氣具有較強(qiáng)的耐受力和抵抗性。

3. 快速通氣停止：具備急速 Vent 停止功能，縮短工藝周期。

4. 安全與質(zhì)量認(rèn)證：符合 NRTL、SEMI-S2 及 CE 安全標(biāo)準(zhǔn)。

代理商：玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司